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河北工业大学张保国教授应邀来我校开展学术交流
发布时间:2025-03-30    作者:    点击:[]

2025年328日,河北工业大学张保国教授应邀来我校开展学术交流,并作题为碳化硅晶圆加工过程面临的挑战与解决方案学术报告。

报告中,张保国介绍了第三代半导体材料碳化硅的研究现状、应用前景以及在晶圆加工过程面临诸多挑战探讨了碳化硅晶圆表面金属杂质浓度、晶圆残余应力、晶圆亚表层损伤对加工成品率的影响,系统讲解了大尺寸碳化硅研磨抛光工艺,从设备、工艺、材料等方面对碳化硅加工技术进一步发展提出解决方案。报告结束后,张保国与参会师生进行了深入交流与讨论,并鼓励同学们勇于创新,敢于挑战卡脖子”难题为我国集成电路发展贡献智慧和力量。  

我校集成电路学院全体师生参加了此次学术活动。集成电路学院 供稿

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