2025年3月28日,河北工业大学张保国教授应邀来我校开展学术交流,并作了题为《碳化硅晶圆加工过程面临的挑战与解决方案》学术报告。
报告中,张保国介绍了第三代半导体材料碳化硅的研究现状、应用前景以及在晶圆加工过程中面临的诸多挑战,探讨了碳化硅晶圆表面金属杂质浓度、晶圆残余应力、晶圆亚表层损伤对加工成品率的影响,系统讲解了大尺寸碳化硅的研磨抛光工艺,并从设备、工艺、材料等方面对碳化硅加工技术的进一步发展提出了解决方案。报告结束后,张保国与参会师生进行了深入交流与讨论,并鼓励同学们要勇于创新,敢于挑战“卡脖子”难题,为我国集成电路发展贡献智慧和力量。
我校集成电路学院全体师生参加了此次学术活动。(集成电路学院 供稿)
上一条:中科环渤海药物高等研究院郭跃伟研究员应邀来我校开展学术交流
下一条:中国科学院牟平海岸带环境综合试验站站长董志军研究员应邀来校开展学术交流
地址:中国·山东省·烟台市芝罘区红旗中路186号
电话:86-0535-6011497 传真:86-0535-6011497 E-mail:ldukjc@163.com
版权所有 未经书面授权禁止使用本站信息
WWW.SCIENCE.EDU.CN Copyright 2020 鲁东大学 科学技术处
鲁ICP备号:09096634 鲁公网安备:37060202000109号